統(tǒng)電源面板位于電控柜正面。通過操作控制按鈕，可以對系統(tǒng)供電/切斷供電，指示燈則顯示相應(yīng)控制按鈕的狀態(tài)。為了提高安全性，除系統(tǒng)電源面板配有急停開關(guān)，系統(tǒng)并聯(lián)一路外延急停開關(guān)，根據(jù)客戶場地情況安裝，推薦安裝在緊急撤離通道或操作員工作站附近。電源面板上排自上往下的控制按鈕/指示燈依次是：動力電源啟動、動力電源停止、系統(tǒng)報警、緊急停止按鈕、總電源開關(guān)。各種原料氣及吹掃氣在經(jīng)過氣體質(zhì)量流量控制器之前需要進(jìn)行凈化，YZUBPR – G2- L1 -B(X)系統(tǒng)內(nèi)安裝有2um固體過濾器，進(jìn)入的每種氣源都將被其過濾。2um固體過濾器需要定期（約半年）拆卸進(jìn)行超聲清洗和吹掃，去除過濾器內(nèi)的雜質(zhì)。

    增壓泵供氣在經(jīng)過增壓泵之前要進(jìn)行凈化，YZUBPR – G2- L1 -B(X)系統(tǒng)配有冷干機(jī)，將空氣壓縮機(jī)產(chǎn)生的空氣除水、除油。冷干機(jī)需定期排水、排油。

如果檢測到泄露氣體設(shè)備將自動斷電 建議客戶使用一些更多的監(jiān)控設(shè)備，包括氣源的壓力傳感器，實驗室的可燃、有毒氣體傳感器等設(shè)備。系統(tǒng)提供接口，可納入連鎖保護(hù)控制。

氣體監(jiān)控與流量與壓力控制、溫度控制。保護(hù)措施可以是軟件層面的，也可以是硬件層面的。通常意義上說，硬件層面的保護(hù)對應(yīng)著較為復(fù)雜和嚴(yán)重的問題，或者發(fā)生在比較危險的環(huán)境中，盡量減少和避免用戶人工介入；相對來說，軟件層面偏重于用戶操作保護(hù)（如超限、維修維護(hù)使能），需要用戶根據(jù)情況給予及時響應(yīng)，在問題癥狀出現(xiàn)后（如加熱器斷線，系統(tǒng)壓力超高限）及時排查、處理，避免問題惡化。

絕熱反應(yīng)器裝置

絕熱反應(yīng)器裝置